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复合机器人拥有移动、抓取与搬运的集成作业能力,具备高精度、高柔性、高拓展性、易操作、人机协作等特点,可支持不同场景应用的快速集成落地,简化复杂的物料搬运场景,实现更高效的工业自动化。
Mini-Load适用于MGZ标准载具的自动化存取,通过紧凑型堆垛机、高密度货架和智能调度软件,实现物料的高效存储、精准分拣与快速周转。
STOCKER用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储。本设备支持FOUP、Cassette、Magazine、Tray等SEMI标准载具的高效存取,可实现AMR与OHT对接,兼容人工上下料模式,严格遵循洁净室FED-209E及SEMI E88(Stocker SEM)规范,满足高洁净环境、高吞吐效率与智能化管理的严苛需求。
功能特点
高性能
拓展性
高柔性
应用场景
型号参数