STOCKER用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储。本设备支持FOUP、Cassette、Magazine、Tray等SEMI标准载具的高效存取,可实现AMR与OHT对接,兼容人工上下料模式,严格遵循洁净室FED-209E及SEMI E88(Stocker SEM)规范,满足高洁净环境、高吞吐效率与智能化管理的严苛需求。
技术亮点
产品规格参数
名称 |
STOCKER |
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负载 |
20kg |
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存储支持产品 |
FOUP、CASSETTE、Magazine、Tray |
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尺寸/存储容量 |
可定制(2.1*8*2.8m样机) |
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进出口对接 |
ARV/OHT/人工 |
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取放精度 |
±0.5mm |
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行走 |
速度 |
2m/s |
加速度 |
2m/s² |
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提升 |
速度 |
1.8m/s |
加速度 |
2m/s² |
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洁净等级 |
ISO Class 100、Class 1000 |
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选配 |
N₂密封功能* |
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Sorter功能 |
堆垛机
升降升降速度2m/s;电机功率:2kw
行走速度2m/s;电机功率:1.5KW;
货叉伸缩速度: 0.75m/s ;旋转时间:1S;
FOUP货叉伸出电机功率:750W;
MGZ货叉伸出电机功率:400W;
行走条码定位:精度±0.5mm