STOCKER

STOCKER用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储。本设备支持FOUP、Cassette、Magazine、Tray等SEMI标准载具的高效存取,可实现AMR与OHT对接,兼容人工上下料模式,严格遵循洁净室FED-209E及SEMI E88(Stocker SEM)规范,满足高洁净环境、高吞吐效率与智能化管理的严苛需求。

分类:
分享

相关产品

复合机器人拥有移动、抓取与搬运的集成作业能力,具备高精度、高柔性、高拓展性、易操作、人机协作等特点,可支持不同场景应用的快速集成落地,简化复杂的物料搬运场景,实现更高效的工业自动化。

  • 复合移动作业机器人搭配机械臂、视觉、夹爪等机构进行移动作业,实现晶圆盒,Foup,Cassette,Magazine,Tray盘等封测厂常用载具在不同工序设备之间的自动化转运和上下料。
  • 使用Slam导航技术,无需标识物即可完成定位,保证机器人运行的柔性操作与现场美观度。
  • 支持不同的作业环境,适应狭窄通道,联通输送线,电梯等自动化设备,可执行各种复杂任务。
  • 车体配备360°全方位立体防护和检测,保障机器人运行安全可靠。

Mini-Load适用于MGZ标准载具的自动化存取,通过紧凑型堆垛机、高密度货架和智能调度软件,实现物料的高效存储、精准分拣与快速周转。

 
 

 

  技术亮点

  • 模块化设计:堆垛机夹爪等模块化,缩短交期,实现快速交付
  • 高速节拍:高速堆垛机速度快,高速机械手节拍快
  • 安全稳定:多重防掉落,安全PLC断电抱闸,保障物料及人机安全
  • 高扩展性:支持加装N2/CDA净化功能,并兼容与OHT、AGV、IAR、OHCV的自动对接

 

产品规格参数

名称

STOCKER

负载

20kg

存储支持产品

FOUP、CASSETTE、Magazine、Tray

尺寸/存储容量

可定制(2.1*8*2.8m样机)

进出口对接

ARV/OHT/人工

取放精度

±0.5mm

行走

速度

2m/s

加速度

2m/s²

提升

速度

1.8m/s

加速度

2m/s²

洁净等级

ISO Class 100、Class 1000

选配

N₂密封功能*

Sorter功能

 

堆垛机

升降升降速度2m/s;电机功率:2kw
行走速度2m/s;电机功率:1.5KW;
货叉伸缩速度: 0.75m/s ;旋转时间:1S;
FOUP货叉伸出电机功率:750W;
MGZ货叉伸出电机功率:400W;
行走条码定位:精度±0.5mm