MINILOAD

Mini-Load适用于MGZ标准载具的自动化存取,通过紧凑型堆垛机、高密度货架和智能调度软件,实现物料的高效存储、精准分拣与快速周转。

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复合机器人拥有移动、抓取与搬运的集成作业能力,具备高精度、高柔性、高拓展性、易操作、人机协作等特点,可支持不同场景应用的快速集成落地,简化复杂的物料搬运场景,实现更高效的工业自动化。

  • 复合移动作业机器人搭配机械臂、视觉、夹爪等机构进行移动作业,实现晶圆盒,Foup,Cassette,Magazine,Tray盘等封测厂常用载具在不同工序设备之间的自动化转运和上下料。
  • 使用Slam导航技术,无需标识物即可完成定位,保证机器人运行的柔性操作与现场美观度。
  • 支持不同的作业环境,适应狭窄通道,联通输送线,电梯等自动化设备,可执行各种复杂任务。
  • 车体配备360°全方位立体防护和检测,保障机器人运行安全可靠。

STOCKER用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储。本设备支持FOUP、Cassette、Magazine、Tray等SEMI标准载具的高效存取,可实现AMR与OHT对接,兼容人工上下料模式,严格遵循洁净室FED-209E及SEMI E88(Stocker SEM)规范,满足高洁净环境、高吞吐效率与智能化管理的严苛需求。

 
 

 

  技术亮点

  • 高速节拍:高速堆垛机速度快,高速机械手节拍快
  • 高密度存储:货架层高可调(最小间距150mm),存储密度较传统货架提高300%,适配仓库面积受限场景。
  • 高可靠性:振动值低,稳定性高,安全可靠性高
  • 柔性扩展:模块化架构支持按需增减货架层数、堆垛机数量

 

产品参数

序号

项目

规格

1

Clean Class

千级

2

L·W·H

2500*1500*2800

3

走行速度/加速度

2m/s,2m/s²

4

升降速度/加速度

2m/s,1.8/s²

5

Fork time

 9s

6

节拍(取放一次)

22.5s

7

Electric power

Normal: 3phase,   380V, 50Hz

8

通讯方式

拖链或光通讯

9

供电方式

拖链或滑触线