应用场景

半导体产线WIP仓

应用于半导体封测厂Probe、EOL、PBR、TEST等多个工艺段,实现线边WIP的暂存与周转 存储FOUP、Wafer CST、Metal Tray等载具

  • 导入AGV仓储,便于产线Layout调整和增减车数,更具柔性解决方案
  • 多场景,多类型载具存储案例
  • 实现与IAR、AGV等设备的自动出入库交互

应用于DA工艺段,实现DA前Wafer Ring存储和分片,以及DA后的Wafer Ring回收 存储8寸/12寸Wafer Ring

  • 提升存储密度和线边仓容量,节省产线面积,可对应DA后Wafer ring的回收
  • 兼容8寸12寸Wafer Ring,可应对小批量Wafer ring分合批订单
  • Stocker ASRS具有高精度、稳定性和吞吐量的优势
  • 实现与人工推车、IAR等设备的自动出入库交互

基于Movelink自主开发的MCS系统,在Die bank区域内导入AGV+工作站工作模式,进行Die bank物料仓储

  • 高密度库存,最大化提升仓储密度
  • 多类型载具兼容,兼容12寸FOUP,Wafer Box,Coinstack,BNC等11种载具
  • 定制设计工作站,减少人员搬运作业强度,实现自动化出入库

应用于WB-Mold工艺段,实现WB前、WB后WIP的暂存和转运 存储Magazine及Basket

  • 提升存储密度和线边仓容量,节省产线面积
  • Stocker ASRS具有高精度、稳定性和吞吐量的优势
  • 实现自动化及人工快速出入库